Bột mài wafer bán dẫn GC800# Silicon Carbide xanh
Giới thiệu
Bột mài silicon carbide xanh (SiC) GC800# là vật liệu mài tổng hợp có độ tinh khiết cao được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu chính xác và khắt khe của quá trình mài và đánh bóng wafer bán dẫn.
Sản phẩm này được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng đòi hỏi độ hoàn thiện bề mặt, độ phẳng và hư hỏng bề mặt tối thiểu để đảm bảo hiệu suất của mạch tích hợp.
Độ cứng vượt trội và hình thái hạt được kiểm soát khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho các quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến.
TÍNH CHẤT VẬT LÝ
| Trọng lượng riêng | 3,95 g/ cm3 |
| Độ cứng Mohs | 9,5 |
| Nhiệt độ dịch vụ tối đa | 1900℃ |
| Điểm nóng chảy | 2250℃ |
Phân tích hóa học điển hình [%]
| SiC | Fe2O3 | FC | F.Si | SiO2 | PHÁP LUẬT |
| 98,0-99,5 | ≤0,15 | ≤0,30 | ≤0,40 | ≤0,70 | < 0,09 |
PHÂN BỐ KÍCH THƯỚC HẠT
CHƯƠNG Ⅰ（TIÊU CHUẨN JIS）
| Kích cỡ | D O (một) | D 3 (ừm) | D 50 (một) | D 94 (um) |
| #240 | ≤127 | ≤103 | 57,0±3,0 | ≥40 |
| #280 | ≤112 | ≤87 | 48,0±3,0 | ≥33 |
| #320 | ≤98 | ≤74 | 40,0±2,5 | ≥27 |
| #360 | ≤86 | ≤66 | 35,0±2,0 | ≥23 |
| #400 | ≤75 | ≤58 | 30,0±2,0 | ≥20 |
| #500 | ≤63 | ≤50 | 25,0±2,0 | ≥16 |
| #600 | ≤53 | ≤41 | 20,0±1,5 | ≥13 |
| #700 | ≤45 | ≤37 | 17,0±1,5 | ≥11 |
| #800 | ≤38 | ≤31 | 14,0±1,0 | ≥9.0 |
| #1000 | ≤32 | ≤27 | 11,5 ± 1,0 | ≥7.0 |
| #1200 | ≤27 | ≤23 | 9,5 ± 0,8 | ≥5,5 |
| #1500 | ≤23 | ≤20 | 8,0±0,6 | ≥4,5 |
| #2000 | ≤19 | ≤17 | 6,7 ± 0,6 | ≥4.0 |
| #2500 | ≤16 | ≤14 | 5,5 ± 0,5 | ≥3.0 |
| #3000 | ≤13 | ≤11 | 4,0±0,5 | ≥2.0 |
| #4000 | ≤11 | ≤8.0 | 3,0±0,4 | ≥1,8 |
| #6000 | ≤8.0 | ≤5.0 | 2,0±0,4 | ≥0,8 |
| #8000 | ≤6.0 | ≤3,5 | 1,2±0,3 | ≥0,6 |
CHƯƠNG Ⅱ (TIÊU CHUẨN FEPA)
| Kích cỡ | D 3 (ừm) | D 50 (một) | D 94 (um) |
| F230 | ＜82 | 53,0±3,0 | >34 |
| F240 | ＜70 | 44,5±2,0 | >28 |
| F280 | ＜59 | 36,5 ± 1,5 | >22 |
| F320 | ＜49 | 29,2±1,5 | >16,5 |
| F360 | ＜40 | 22,8±1,5 | >12 |
| F400 | ＜32 | 17,3±1,0 | >8 |
| F500 | ＜25 | 12,8±1,0 | >5 |
| F600 | ＜19 | 9,3±1,0 | >3 |
| F800 | ＜14 | 6,5 ± 1,0 | >2 |
| F1000 | ＜10 | 4,5 ± 0,8 | >1 |
| F1200 | ＜7 | 3,0±0,5 | >1(ở mức 80%) |
| F1500 | ＜5 | 2,0±0,4 | >0,8 (ở mức 80%) |
| F2000 | ＜3,5 | 1,2±0,3 | >0,5 (ở 80%) |
Ứng dụng chủ yếu
-Chất mài mòn liên kết và chất mài mòn phủ
– Phun cát, xử lý bề mặt, tẩy gỉ
– Phun ướt và phun khô, mài và đánh bóng, v.v.
-Ván sàn/tường, Chống mài mòn
– Sản phẩm gốm sứ: Gạch men, Tấm lọc gốm, màng gốm, v.v.
– Sơn Teflon, v.v.
– Vật liệu cách nhiệt
– Đá mài, đá mài cốc, đá mài, miếng đánh bóng, v.v.
– Được sử dụng cho nồi nấu kim loại, các bộ phận cho lò nung, phớt cơ khí và các vật liệu phụ trợ để sản xuất chất bán dẫn
